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SOLAIR 1100LD粒子计数器的工作原理

SOLAIR 1100LD粒子计数器基于激光散射原理实现对空气中微小颗粒的精准检测,其工作流程可分为以下六个核心环节:
Solair-1100LD

一、采样系统:稳定气流与颗粒捕获

仪器通过内置真空泵以恒定的28.3升/分钟(1立方英尺/分钟)流速抽取空气样本。这一流速经过优化设计,既能确保采样的代表性,又能避免因流速过快导致颗粒碰撞损失。采样入口配备等动力采样探头,可根据气流方向自动调整角度,确保样本与环境空气的一致性。采样后的空气通过高效空气过滤器(HEPA)和热控制排气系统,防止检测后的颗粒再次污染环境。
 

二、激光激发:高稳定性光源

采用长寿命激光二极管作为光源,其波长通常为650nm左右(半导体激光常见波段),具有以下优势:
单色性强:单一波长的激光减少杂散光干扰,提升小颗粒检测精度。
稳定性高:无需像传统HeNe激光器(波长632.8nm)那样频繁更换激光管或清洁光学部件,维护周期大幅延长。
低功耗设计:配合锂电池可实现长时间便携检测,整机重量仅10.6千克。
 

三、光散射检测:微粒尺寸与数量的量化

当空气样本通过激光检测腔时,颗粒对激光产生散射效应:
散射光强度与颗粒表面积成正比:0.1微米的颗粒散射光较弱,而1微米的颗粒散射光更强。
多角度检测:仪器通过光学透镜组收集前向散射光(适用于大颗粒)和侧向散射光(适用于小颗粒),提升全粒径范围的检测灵敏度。
探测器选择:采用高灵敏度光电二极管而非体积较大的光电倍增管,既保证对微弱光信号的响应,又实现设备的小型化。
 

四、信号处理:从光脉冲到数字数据

光电转换:散射光被探测器转化为微弱电脉冲,信号幅度与颗粒大小直接相关。例如,0.1微米颗粒可能产生约50mV的脉冲,而1微米颗粒脉冲可达数百mV。
放大与甄别:信号经多级放大电路增强后,通过阈值比较器过滤噪声,仅保留有效脉冲。仪器预设8个粒径通道(如0.1-1.0微米),每个通道对应不同的电压阈值。
实时计数:内置微处理器对脉冲进行实时统计,每秒可处理数千个颗粒信号,并同步显示各通道的粒子浓度(如个/立方英尺)。
 

五、数据管理与报告生成

存储与传输:支持3000个样本数据存储,可通过USB、以太网或RS-485接口将数据导出至电脑或监控系统。数据格式兼容21CFRPart11标准,确保制药等行业的合规性需求。
智能分析:内置洁净室报告向导,可自动生成符合ISO14644-1、FS-209E、EUGMPAnnex1等标准的合规报告,无需用户手动计算UCL(置信上限)。例如,在检测ISO5级洁净室时,系统会直接标注“合格/不合格”并生成趋势图。
扩展功能:通过高压控制器HPC1100,可对压缩气体(如30-150psi的惰性气体)进行颗粒计数,满足半导体制造中气源洁净度监测的需求。
 

六、校准与维护:精度保障机制

溯源校准:采用NIST可追溯的聚苯乙烯乳胶(PSL)标准粒子定期校准,确保转换灵敏度(如0.1微米对应电压值)的准确性。校准周期通常为1年,用户可通过内置菜单启动自动校准程序。
自诊断功能:实时监测激光功率、真空泵转速等参数,当检测到异常(如激光衰减超过阈值)时,屏幕会弹出警报并提示维护措施。
 

关键技术优势解析

0.1微米超高灵敏度:
激光二极管的短波长特性(如650nm)与高数值孔径光学设计相结合,可捕捉微小颗粒的微弱散射光。
光电二极管的暗电流抑制技术(<1nA)和多级信号放大电路(增益>1000倍),将信噪比提升至20:1以上。
抗干扰能力:
检测腔采用不锈钢外壳和电磁屏蔽设计,可抵御车间内电机、变频器等设备的电磁干扰。
内置温湿度传感器,自动补偿环境参数对激光波长和空气折射率的影响,确保数据稳定性。
用户友好性:
5.7英寸彩色触摸屏支持手势操作,图标化界面可快速切换检测模式(如实时监测、梯度测试、压缩气体检测)。
电池续航达8小时,且支持热插拔更换,满足长时间移动检测需求。
典型应用场景验证
在某半导体晶圆厂的ISO4级洁净室测试中,Solair-1100LD通过以下步骤完成认证:
布点采样:在10个关键位置(如光刻机附近、回风管道)各采集3次数据,每次采样时间1分钟。
数据处理:系统自动计算各点的0.1微米颗粒浓度均值(如120个/立方英尺),并与ISO4级标准限值(3520个/立方英尺)对比。
报告生成:最终输出的PDF报告包含各点坐标、统计图表及合规性结论,全程耗时<30分钟。
这种高效、精准的检测能力,使其成为电子制造、制药、航空航天等领域环境监测的核心工具。通过将激光技术、智能算法与工业需求深度融合,SOLAIR 1100LD重新定义了便携式粒子计数器的性能技术创新。
我司有售Solair-1100LD尘埃粒子计数器,欢迎技术交流。
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